DS300質(zhì)量流量控制器是針對半導體行業(yè)開發(fā)的一款適用于半導體裝備的氣體質(zhì)量流量控制器,用于半導體器件的刻蝕、濺射等工藝。
DS300質(zhì)量流量控制器優(yōu)勢
• 控制精度高,精度可達±1.0% S.P.(≥10%F.S.)。
• 響應速度快,響應時間≤ 0.5sec。
• 采用基于壓力原理的流量傳感器技術(shù),使產(chǎn)品具有壓力不敏感特性,能夠適用較大的氣源壓力波動。
• DS300采用有效的機械加工技術(shù)與表面處理技術(shù)解決深小孔不能或者很難電拋光(EP)的難題,實現(xiàn)孔徑相對較小(孔徑<1mm)、深徑比相對較大(>10)的不銹鋼小孔、深盲孔以及交叉孔的表面電化學拋光處理,*符合SEMI標準要求。
DS300質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)
DS300C | |
型號 | DS300C |
閥類型 | 常閉 |
流量規(guī)格(N2) | (0~30,50,100,200,300,500) SCCM |
準確度 | ±1% S.P. (≥10% F.S.) |
線性 | ±0.5% F.S. |
重復精度 | ±0.2% F.S. |
響應時間 | ≤ 0.5sec |
進口壓力 | 240~450KPa 流量規(guī)格≤5SLM |
出口壓力 | ≤1.2KPa 流量規(guī)格≤5SLM |
溫度系數(shù) | 零點:≤±0.02% F.S./℃; |
耐壓 | 3 MPa |
漏率 | 1×10-11 Pa·m3 / sec He |
密封材料 | 金屬密封 |
大工作壓力 | 0.45MPa |
工作環(huán)境溫度 | (10~45)℃ |
輸入信號 | 數(shù)字:RS485 或 DeviceNet |
輸出信號 | 數(shù)字:RS485 或 DeviceNet |
零漂 | 在沒有零點校正時<0.6%F.S./年 |
電源 | ±8~±16 VDC (雙極) 或 +14~+28 VDC (單極) |
表面化學成分 | Cr/Fe比例≥2.0; |
表面粗糙度 | Ra 5μinch |
標準接頭形式 | VCR1/4陽接頭; |
電源接頭形式 | D型9針陽接頭; |
重量 | 1.2Kg |