氣體質(zhì)量流量控制器發(fā)展至今,采用的傳感器主要有熱式傳感器、容積式傳感器和壓差式傳感器等。其中以熱式和差壓式應(yīng)用多。
熱式傳感器是利用加熱流體時,加熱流體時測量熱的傳遞、熱的轉(zhuǎn)移來計算流體質(zhì)量流量的傳感器。
壓差式質(zhì)量傳感器是通過測量氣體流過阻力器產(chǎn)生的壓力差,來計算流體流量的傳感器,阻力越大,壓差越大,對流量也越敏感。
熱式流量傳感器由于對氣體流量和氣體成分較敏感,適用的氣體類別和流量范圍較廣,而在流量控制器的研制中得到了廣泛應(yīng)用。
2. 熱式流量傳感器在氣體質(zhì)量流量控制器中的應(yīng)用
氣體質(zhì)量流量控制器由傳感器, 分流器通道, 流量調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部件組成。其原理是,將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進行比較, 再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門,便實現(xiàn)了閉環(huán)控制流過通道的流量。
其中傳感器是氣體質(zhì)量流量控制器的核心部件,主要采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量,具有溫度、壓力自動補償特性。
通常情況下,熱式流量傳感器的設(shè)計采用兩個線圈的方式,如圖1所示,線圈通電流后溫度會升高。
圖1 傳感器示意圖
當(dāng)有氣流通過時,進氣溫度一般在 20℃左右,而線圈溫度一般在100 ℃左右,冷氣體會使線圈的溫度降低,上游的線圈與進氣的溫差大,被冷卻的效果也更好。經(jīng)過上游的線圈加熱以后,氣體的溫度逐漸接近線圈的溫度,下游的線圈被氣體的冷卻效果要小的多。故下游線圈的平均溫度一般總比上游線圈的平均溫度要高。因此,上下游氣體便產(chǎn)生了溫度差。
氣體流量越大,對上游線圈的冷卻就越大,兩線圈的阻值就相差越大。如果我們把上、下游線圈的電壓差作為傳感器的輸出信號,經(jīng)過放大電路的放大,便可實現(xiàn)對氣體流量的控制。下圖為向傳感器通入氣體后,上下游線圈溫度變化及溫度差。
圖2 傳感器線圈平均溫度
由上圖可以看出,當(dāng)氣體的流量大到一定程度后,上下游溫度的差值會趨于減小,傳感器的輸出也將減小,后將會趨于平穩(wěn),即滿量程狀態(tài)。
3. 熱式流量傳感器的優(yōu)勢
目前半導(dǎo)體行業(yè)正在向技術(shù)方向發(fā)展,其對流量控制器的精度要求也越來越高。熱式流量傳感器因其對氣體流量較為敏感,不但可以完成對微小流量氣體的測量與控制,對于不同氣體或混合氣體亦可完成測量,同時還能保證具備較高的控制精度和穩(wěn)定性。因此,熱式流量傳感器在氣體質(zhì)量流量控制器(流量計)領(lǐng)域,一直占據(jù)主導(dǎo)地位。